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我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成

衢州石英玻璃光掩膜基板和晶圆生产基地-抛光车间-640.jpg

近日,betway体育下载总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造技术,在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。

该生产线的建立,是betway体育下载总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件,市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料,合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而,受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约,我国石英玻璃基板长期依赖进口。

石英玻璃晶圆-640.jpg石英玻璃光掩模基板-640.jpg

作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所,betway体育下载总院石英院依托浙江衢州高新园区的化工资源,形成了循环经济产业链,建立了高性能石英玻璃研发基地,并成立betway体育下载衢州金格兰石英有限企业。经科研人员不懈努力,形成一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线,不但解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性难题,同时实现了原材料绿色制造。石英院还引入多刀切割、安全快速磨抛工艺,创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术,解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原材料制造到产品加工,石英院形成专利20余项,行业标准、国军标及国家标准10余项,开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品,不仅逐步替代进口,实现了集成电路等用高性能石英玻璃关键材料及制品的国产化,而且出口欧洲、日本等国。

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